1920年，“机器人”一词诞生。

这一年，捷克剧作家卡尔〮恰佩克（Karel〮apek），在他的剧本《罗萨姆的万能机器人》中创造了“Robot”一词。“Robot”由捷克语的“Robota”而来，后者是奴隶的意思。

1939年，美国纽约世博会上展出了由西屋电气公司制造的家用机器人Elektro。它由电缆控制，可以行走，会说77个单词。

1947年，第一台机械手问世。

这一年，美国原子能委员会的阿尔贡研究所开发了遥控机械手，这标志着现代机器人的诞生。阿尔贡研究所于1948年又开发出了机械耦合的主从机械手。

1954年，第一台可编程的机器人诞生。

这一年，美国人乔治·德沃尔制造出世界上第一台可编程的机器人。

1959年，德沃尔与美国发明家约瑟夫·英格伯格联手制造出第一台工业机器人。

1962年，Unimation公司的第一台机器人Unimate问世。同年，美国机床铸造公司(AMF)也研制出Versatran（Versatife Transfer）机器人。一般认为，Unimate与Versatran，是世界上最早的工业机器人。

1968年，第一台智能机器人诞生。

这一年，美国斯坦福研究所研发成功世界上第一台智能机器人Shakey。

1978年，美国Unimation公司推出通用工业机器人PUMA，工业机器人技术完全成熟。

1979年，美国Unimation公司推出通用工业机器人PUMA，这标志着工业机器人技术已十分成熟——PUMA至今仍然工作在工厂第一线。

1984，“机器人之父” 英格伯格推出机器人Helpmate，这种机器人能在医院里为病人送饭、送药、送邮件。

1998年12月，自第一台da Vinci手术机器人系统问世以来，目前已有超过390台应用于世界各地。手术机器人已被广泛应用于普外科、心外科、泌尿外科、妇科和小儿外科。

1999年，日本索尼公司推出犬型机器人爱宝 (AIBO)，娱乐机器人迈进普通家庭。

2002年，丹麦iRobot公司推出吸尘机器人Roomba，这是目前世界上销量最大的家用机器人。

2006年，微软公司推出Robotics Studio，机器人模块化、平台统一化的趋势越来越明显。

这一年，中国的李泽湘团队成立了深圳大疆机器人公司，大疆开创了非专业无人驾驶飞行器（UAV）市场，目前大疆机器人占据着全球无人机市场70%的份额。

2010年5月至7月，中国蛟龙号载人潜水器在南中国海进行了多次下潜任务，最大下潜深度达到3759米。蛟龙号载人潜水器是一艘由中国自行设计、自主集成研制的载人潜水器，也是863计划中的一个重大研究专项。目前蛟龙号载人潜水器到达深度7062.68米。蛟龙号载人潜水器获得国防科技工业军民融合发展技术创新奖。

2012年4月1日，谷歌公司展示了自动驾驶技术的赛车。谷歌无人驾驶汽车，是该公司 Google X 实验室研发的全自动驾驶汽车。这一年的5月8日，美国内华达州允许无人驾驶汽车上路3个月后，机动车驾驶管理处为谷歌的无人驾驶汽车颁发了一张合法车牌。

2013年，美国波士顿动力学工程公司（BostonDynamics）研发了形似机械狗的四足机器人，该项目由美国国防高级研究计划局资助，源自美国国防部为军队开发新技术的任务。

2014年，首届中国机器人峰会(RoboTop2014)在天津武清隆重召开。这是中国机器人行业最顶级的一次技术峰会,也是机器人界历年来规模最大的行业盛会。机器人峰会邀请了在机器人、计算机、自动化等领域拥有崇高声望的专家学者共商中国机器人发展大计。

2015年11月23日,中共中央总书记、国家主席习近平，在致2015世界机器人大会贺信中指出：“当前，世界正处在新科技革命和产业革命的交汇点上。科学技术在广泛交叉和深度融合中不断创新，特别是以信息、生命、纳米、材料等科技为基础的系统集成创新，以前所未有的力量驱动着经济社会发展。随着信息化、工业化不断融合，以机器人科技为代表的智能产业蓬勃兴起，成为现时代科技创新的一个重要标志。”

2015年11月23—25日，世界机器人大会在北京举办。这次大会由中国科学技术协会、工业和信息化部、北京市人民政府主办。大会围绕世界机器人研究与应用，以及智能社会创新发展，开展了高水平的学术交流和最新成果展示，拟搭建国际协同创新合作平台，突出展现机器人产业布局与智能制造的未来发展趋势，展示两化深度融合的主攻方向，明确机器人产业发展导向，促进产业间协同发展。

2016年3月15日，机器人“阿尔法狗（AlphaGo）”，战胜了韩国围棋选手李世石，总比分定格在1：4。阿尔法围棋（AlphaGo）是一款围棋人工智能程序，由位于英国伦敦的谷歌（Google）旗下DeepMind公司的戴维·西尔弗、艾佳·黄团队开发`。